镀钛厂中常见的几种离子源
离子源类型虽多，意图却无非在线清洗，改善被镀表面能量分布和调制增加反应气体能量。离子源可以大大改善钛与基体的结合强度，同时钛自身的硬度与耐磨耐蚀特性也会改善。若是镀东西耐磨层，一般厚度较大而对钛厚均匀性要求不高，可选用离子电流较大能级也较高的离子源，如霍尔离子源或阳极层离子源。
阳极层离子源，与霍尔离子源原理近似。在一条环形（长方形或圆形）窄缝中施加强磁场，在阳极作用下使作业气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长，特别适宜镀大工件，如修建玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散，且能级分布太宽。一般适用于大型工件，玻璃，磨损，装修工件。但使用于高级光学镀钛并不太多。
考夫曼离子源是使用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽会集，可广泛使用于真空镀钛厂中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，别的就是离子流量有极限，对需求大离子流量的用户或许不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并构成离子束。因为轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需求补偿电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。霍尔离子源的特点是：
1简略经用。
2离子电流与气体流量简直成份额，可获得较大离子电流。
3钨丝一般横跨在出口，收离子束冲击很快会销蚀，尤其对反应气体，一般十几个小时就需替换。而且钨丝还会有必定的污染。为处理钨丝的缺点。有选用较长寿中和器的，如一个小的空心阴极源。
霍尔离子源可以说是使用最广泛的离子源。高级的如Veece的Mark I和Mark II离子源。适用的如国产的大部分离子源。
假如镀耐磨装修钛，钛厚大，需求与机体结合力强，而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大，且离子能级也高。假如是镀光学钛，则主要要求离子电流能级会集，离子电流均匀性好。故最好用Kaufman或RF离子源，有条件的可选用ECR（电子回旋）或ICP(感应耦合)离子源。别的，也要考虑到耗材，如用钨丝的霍尔源在反应气体中十来个小时就烧断了。而高级离子源如ICP离子源可在反应气体中连续作业几百小时。
镀灯具铝钛。因为是金属钛，当然是直流磁控溅射好。速度快。中频适宜镀化合物钛。假如选离子源，霍尔离子源就够了。但要留意灯具大小。一般霍尔离子源是圆形，离子源掩盖的面积有限。你必定要用离子束将工件悉数掩盖到。若普通霍尔离子源太小，可考虑用阳极层离子源。离子源难起辉的一个原因是磁场太弱激发不起等离子体。离子源的品种虽多，但基本上是先产生等离子体，然后从等离子体中抽出气体离子并加速成离子束，让后视需求注入电子中和离子流。
